中日韩视频免费观看-亚洲一区二区视频在线免费观看-中文av日韩一区二区-亚洲色图少妇熟女偷拍自拍

上海溪拓科技

專業(yè)的實驗室儀器設備服務商

服務熱線:021-60195846

技術文章

ARTICLE

當前位置:首頁技術文章EBAC/RCI 原理和應用-Kleindiek EBIC放大器

EBAC/RCI 原理和應用-Kleindiek EBIC放大器

更新時間:2024-11-15點擊次數:931

EBACElectron Beam Absorbed Current

RCIResistive Contrast Imaging

芯片工藝進入 55 納米/65 納米技術節(jié)點后,EBAC 技術被引入并得到迅速發(fā)展?,F如今,EBAC、RCI已成為芯片失效分析(failure analysis, FA)的主要工具之一,用于IC線路的短路,斷路,高阻缺陷的隔離和精確定位。

原理:

為了探測芯片的特定電路區(qū)域,EBAC 系統(tǒng)配備了納米探針和掃描電子顯微鏡 (SEM)。當電子束primary electron beam)穿透樣品表面時,電子流可通過金屬探針吸收,經放大器放大,并通過SEM形成 EBAC 圖像。

image.png

電子流的穿透深度取決于掃描電鏡的加速電壓acceleration voltage和樣品的材料特性。電子束吸收電流流入金屬/通孔(Metal/Via)結構,然后由探頭測量。如果金屬/通孔鏈斷裂或打開,則可通過疊加在SEM圖像上的EBAC圖像的突然變化來精確定位定位。

對于某些高電阻結構(部分于通孔連接),單個探針無法定位此類缺陷。因此,在 EBAC 技術中需要兩個探頭,即電阻對比成像(Resistive contrast imaging,RCI)。


結果:

image.pngimage.png


image.png


返回列表
  • 服務熱線 021-60195846
  • 電子郵箱

    info@xtg-tech.cn

掃碼加微信

Copyright © 2025 上海溪拓科學儀器有限公司版權所有    備案號:滬ICP備15008989號-2

技術支持:化工儀器網    sitemap.xml

亚洲国产一区二区高清| 成人免费毛片1000部| 一区二区中文字幕精品| 老色鬼久久亚洲av综合| 99精品国产一区二区青青性色| 中文字幕在线看精品乱码| 国产激情盗摄一区二区三区| 色婷婷亚洲婷婷亚洲最大| 黄色成人av在线网站| 亚洲国产欧美日韩在线不卡成人 | 国产午夜激情自拍视频| 国产一区二区三区婷婷| 久久精品一品二品三品| 国产成人精品一二三四区| 无遮挡无掩盖的免费网站| 91亚洲国产成人久久| 丰满人妻一区二区三区色| 午夜看片福利欧美熟女| 国产日韩精品综合一区| 免费国产午夜福利在线| 丝袜亚洲激情欧美日韩偷拍| 欧美香蕉视频播放二区| 少妇午夜福利一区二区| 亚洲少妇插进去综合网| 扒开女性毛茸茸的视频| 婷婷色精品一区二区激情| 激情五月综合开心五月| 欧美日韩天堂一区二区| 国产在线精品91系列| 91青青草原在线视频| 国产精品欧美久久久久无| 国产精品大片一区二区三区四区| 日本久久精品免费网站| 韩国av在线免费观看| 伊人亚洲中文一区二区| 日韩中文字幕视频一区 | 国产成人亚洲精品另类动态| 亚洲男人天堂免费观看| 亚洲s码在线一区二区| 免费在线观看性生活视频| 日本人妻久久中文字幕|